光圈、局部光圈與PV、RMS之間的關(guān)系與區(qū)別
面型是光學(xué)制造中的重要精度指標(biāo)之一,簡單來說是表面不平整度;這就好像鋪水泥路面,鋪的好的表面很平整,沒有坑坑洼洼,車子開過去好的路面很平穩(wěn)、不好的坑坑洼洼的,就顛簸得厲害!面型的兩個參數(shù)PV和RMS值,PV是表示路面的最高處與最低處的差值,RMS值是全部路面高低的平均值;因此PV值能夠做到0.1個波長,RMS值至少在0.02左右,一般來說,PV值是RMS值的6-8倍。目前很多商家說出所謂的1/8波長或1/10波長實際上多指RMS值,其PV值往往達不到1個波長,而良好的天文觀測器材應(yīng)該具備PV=1/2波長才算是精度比較好的。
在實際中,光學(xué)圖紙對光學(xué)零件的要求用光圈數(shù)(N)和局部光圈表示,而在加工出來后用zygo干涉儀檢測卻是pv和rms值,用ZYGO可以測出光圈,局部光圈,PV。RMS。不同的設(shè)置測出來的是不同的。并不是出來的都是PV。光圈和PV的關(guān)系是:光圈好的。PV肯定好。PV好的。光圈不一定好。PV是光圈的波峰和波谷的相對值。不考慮局部誤差的影響。說光圈時一般要考慮局部光圈誤差的影響。
用ZYGO儀器測量光學(xué)零件的光圈(N),讀的不是很準(zhǔn),要讀的話就是軟件上面surface map 中的power值,不過要把單位轉(zhuǎn)化成光學(xué)單位。至于局部光圈讀profile map中的pv直,很準(zhǔn)確,把surface map 中的line放在最高點和最低點位置,看高或低所占的pv的比例就行.
圖紙中的光圈數(shù)是加工元件與樣板的偏差而產(chǎn)生的干涉條紋數(shù);而干涉儀測量時,參考球半徑(類似于樣板半徑)可變,條紋多少是可以變化的,測量結(jié)果(PV和RMS值)是加工元件與最接近參考球的偏差.
一道圈是面型偏差有二分之一個波長大小,546.1nm是標(biāo)準(zhǔn)波長,PV是面型偏差的最大值,除以546.1就是幾分之幾波長,和二分之一個波長比較,有幾個二分之一波長就有幾到圈.
總之,光圏和PV、RMS是兩種不同的評價標(biāo)準(zhǔn)。局部光圈如果作為PV來評價的話,是比對的PV值還要高。
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